Discovery Sagaサイレントキーワード俯瞰

量子ビーム / ナノ粒子 / 金属還元 / アレイ電極 / プラズマ / ナノ加工 / 超低エネルギーEB / マイクロアレイ / ナノ材料

架橋体を含むパーフルオロ系高分子に対して、各種イオンビームにより、マイクロ～ナノサイズで制御された精密微細加工を行った。その後、グラフト重合により機能化し銀イオンを担持した試料を調製した。量子ビームにより固相中直接還元を行い、SEM-EDXやXPSで構造解析を行った結果、純銀ナノ粒子を確認できた。また、加工体を観察した結果、60. m角のアレイ状の電極を作製ができた。また、直接パターニングにより幅800nmの金属還元微細加工体の作製に成功した。

【研究協力者】
田川精一	大阪大学	産業科学研究所	特任教授	(Kakenデータベース)
鷲尾方一	早稲田大学	理工学術院	教授	(Kakenデータベース)