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X 線光学 / 超精密加工 / 超精密計測 / 計測工学 / X線集光 / X線ミラー / 補償光学 / 波面制御 / 収差補正 / 形状可変ミラー / 圧電素子

本研究の目的は、回折限界集光を実現可能な変形精度を有する硬X線用形状可変ミラーを開発することである。フィゾー型干渉計を用いた印加電圧フィードバックシステムを構築することにより、形状可変ミラーを数nmの精度で非球面形状へ変形させることに成功した。SPring-8において集光性能評価を行い、形状可変ミラーを深さの異なる非球面形状に変形させることによって、回折限界条件下で様々なサイズの集光X線ビームを形成可能であることを確認した。