シリコンチップ背面上厚膜絶縁体層高効率ミリ波アンテナと特性測定システム構築の研究
【研究分野】通信・ネットワーク工学
【研究キーワード】
アンテナ / ミリ波 / シリコンチップ / 放射効率 / 指向性
【研究成果の概要】
厚さ2umの銅膜で覆った5mm四方のシリコンチップ上に厚さ200umの絶縁体層を設け,その上に円偏波パッチ素子を形成し,基板に開けた貫通孔より同軸構造で給電するアンテナを60GHz帯で設計,試作した。そのアンテナの放射効率を電波撹拌金属箱を用いて,測定の不確かさ±3%で実測し,治具も含めて75%と設計値と良い一致を得た。長さ320umの同軸構造での損失は0.2dBと確認できた。また,50GHz帯で光ファイバを用いた指向性測定システムを構築した。
【研究代表者】
【研究連携者】 |
安藤 真 | 東京工業大学 | 大学院・理工学研究科 | 教授 | (Kakenデータベース) |
平野 拓一 | 東京工業大学 | 大学院・理工学研究科 | 助教 | (Kakenデータベース) |
張 ビョウ | 東京工業大学 | 大学院・理工学研究科 | 産学官連携研究員 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2010 - 2012
【配分額】47,580千円 (直接経費: 36,600千円、間接経費: 10,980千円)