横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
【研究分野】電子デバイス・電子機器
【研究キーワード】
圧電薄膜 / センサ / ScAlN / 抗原抗体反応 / 圧電薄膜センサ / 横波共振子 / 液中センサ / 液体中センサ
【研究成果の概要】
抗原抗体反応などの生体高分子を検出するセンサは、小型なものであることが望ましい。水晶振動子（QCM）を用いた抗原抗体反応測定において、測定感度を向上させるためには水晶板の薄片化が求められるが、機械強度の低下につながる。音響多層膜共振子（SMR）を用いることで機械強度を損なわない高感度測定が期待できるが、そこで、c軸傾斜ScAlN（傾斜角度: 48°）を用いた音響多層膜共振子を作製し、液体粘性の評価を試みた。k’15~2 = 13.0%と高品質なScAlN薄膜の作製に成功した。さらに、グリセリン水溶液の濃度変化に伴う反共振周波数ピークの変化が観測された。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 高柳 真司 | 名古屋工業大学 | 工学(系)研究科(研究院) | 助教 | (Kakenデータベース) |
| 吉田 憲司 | 千葉大学 | フロンティア医工学センター | 助教 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2016-04-01 - 2019-03-31
【配分額】16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)