【研究連携者】 | ||||
荒川 泰彦 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
岩本 敏 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 准教授 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | |||||
斉藤 敏夫 (齋藤 敏夫 | 斎藤 敏夫) | 東京大学 | 国際産学共同研究センター | 助手 | (Kakenデータベース) |
平川 一彦 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) | |
黒田 和男 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) | |
小野村 正明 | 個別半導体板技術ラボラトリー | 研究主務 | |||
【研究分担者】 | ||||
平川 一彦 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 助教授 | (Kakenデータベース) |
榊 裕之 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
藤井 陽一 | 日本大学 | 理工学部 | 教授 | (Kakenデータベース) |
今井 元 | 富士通研究所 | マルチメディア研 | 部門長代理 | |
【研究分担者】 | ||||
榊 裕之 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
藤井 陽一 | 日本大学 | 理工学部 | 教授 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | ||||
茅根 直樹 | 日立製作所 | 中央研究所 | 主任研究員 | |
榊 裕之 | 東京大学 | 先端科学技術研究センター | 教授 | (Kakenデータベース) |
藤井 陽一 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | ||||
高橋 琢二 | 東京大学 | 先端科学技術研究センター | 講師 | (Kakenデータベース) |
榊 裕之 | 東京大学 | 先端科学技術研究センター | 教授 | (Kakenデータベース) |
藤井 陽一 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | ||||
今井 元 | 富士通研究所 | 部長 | ||
藤井 陽一 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
榊 裕之 | 東京大学 | 先端科学技術研究センター | 教授 | (Kakenデータベース) |