【研究分野】熱工学

【研究領域課題番号】15H03934 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

温度センシング技術 / 熱物性 / 近接場光 / ナノデバイス / 計測工学 / ナノ発光デバイス / ナノ材料 / 温度計測

【研究成果の概要】

本研究では、動作中のナノデバイスの温度分布をナノスケール空間分解能でセンシング可能な新しい測定技術を開発し、ナノデバイス制御へと応用することを目的としている。本研究において、ナノスケール空間分解能を実現する近接場蛍光熱顕微鏡ならびに近接場偏光熱顕微鏡を開発し、その妥当性を解析的かつ実験的に明らかにした。特に、融着型近接場ファイバプローブを新たに提案し、高感度に局所的な温度センシングに成功している。また、ナノデバイスの構造を制御することで、ホットスポットを制御できることを明らかにした。

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2018-03-31

【配分額】16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)