自己組織化現象を利用した三次元ナノ構造作製技術
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
ナノ・マイクロ加工 / 自己組織化 / 三次元ナノ構造 / ブロック共重合体 / 集束イオンビーム化学気相成長法 / テンプレート / 多層膜 / 自由膜 / メカニカル振動子 / プラズモン共鳴 / 光学多層膜 / 基板処理 / FIB-CVD / 薄膜形成 / ナノメカニクス
【研究成果の概要】
ポリスチレンとポリメチルメタクリレートのジブロック共重合体が持つ自己組織化現象によって構成される30～100nm程度のピラー,ポア,膜の各自己組織化ナノ構造を三次元ナノ構造として作製する技術を開発した。具体的には,(1)三次元ナノ構造表面に自己組織化構造を配置する方法,(2)ナノテンプレートを利用して三次元的に自己組織化構造の配列を制御する方法,(3)自己組織化構造をテンプレートにした多層膜を作製する技術,(4)三次元ナノフレームに自己組織化自由膜を作製する方法,(5)エネルギービーム照射による自己組織化構造のナノパターンニング技術,(6)集束イオンビーム照射による薄膜接合技術を提案し,実験により可能性を示した。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 石原 直 | 東京大学 | 大学院・工学系研究科 | 教授 | (Kakenデータベース) |
| 米谷 玲皇 | 東京大学 | 大学院・工学系研究科 | 講師 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2009 - 2011
【配分額】18,980千円 (直接経費: 14,600千円、間接経費: 4,380千円)