熱ナノインプリント樹脂大変形のメッシュフリー解析手法の開発とプロセス最適化
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
ナノ・マイクロ加工 / 熱ナノインプリント / メッシュフリー法 / 増分形陰的釣合方程式 / 有限要素法 / メッシュリゾーニング / 大変形解析 / 大変形 / 増分形釣合方程式 / 速度形仮想仕事式 / ガラーキンメッシュフリー法 / リゾーニング付き有限要素法 / 浮動応力点積分 / 内力増分 / 移動最小二乗法
【研究成果の概要】
浮動応力点メッシュフリー法の開発,および増分形陰的釣合方程式に基づく有限要素メッシュリゾーニング法の開発を行った.両方法共に加熱された樹脂やガラスなど柔らかい材料の大変形解析に対して精度と安定性を兼ね備えたこれまでにない解析方法である.これらの成果は熱ナノインプリント等の大変形を伴う加工プロセスの数値最適化に対する有効な手段になるものと期待される.
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2010 - 2012
【配分額】3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)