Discovery Sagaサイレントキーワード俯瞰

ヘルスケアチップ / 血液検査 / マイクロTAS / マイクロ流体デバイス / 誘電泳動 / セルソーターチップ / 細胞電気泳動 / ディープガラスエッチング / ホウ珪酸ガラス加工 / 積層マイクロ流体チップ / ポリマーチップ / 射出成型 / 細胞電気泳動チップ / 陽極接合 / 血液分析 / 埋め込み微小電極 / インピーダンス分光 / ポリマー被覆 / 細胞分析 / ナノソーターチップ / マイクロキャピラリー電気泳動 / ディープエッチング / ガラスエッチング / Crドライエッチング / 細胞免疫電気泳動 / 誘電泳動力

ヘルスケアチップは、近年、マイクロTASやLab-on-a-chipと呼ばれる(バイオ)化学分析用集積化システムの一種であり、マイクロキャピラリー、マイクロオプティクス、バイオセンサーなどの分離・分析素子と電子デバイスを混在集積化させ、極微量の血液・尿など体液の分析からヒトの様々な生理学的浄報を迅速に収集することを可能にする。本研究では血液検査を数cm角のチップ上で行うシステムを実現することを最終目標とし、そのために必要な種々の要素技術の開発とそれらの集積化によるシステム構築のための基盤確立を図った。
バイオ分析用マイクロチップは光学的計測あるいは観察装置との組み合わせによりシステム全体が機能する場合が多く、基板材料にLSIやMEMSのようにSiを用いるよりも透明なガラスやプラスチックを採用することが多い。そこで最初はガラス基板を中心とした微細加工、アセンブリ技術等の開発から着手し、これらの技術を応用してマイクロ分析チップの試作・開発を進めていった。本科研費では、(1)石英エッチング技術のマイクロキャピラリー電気泳動チップ作製への応用、(2)高密度フッ素系プラズマによるホウ珪酸ガラスのディープエッチング、(3)ホウ珪酸ガラス製マイクロキャピラリー電気泳動チップの作製と動作特性の研究、(4)陽極接合を用いたマイクロ積層流体デバイスの作製法、(5)微小電極埋込みチップ上でのインピーダンス分光による生体試料検出を再現性良く行うためのチップ内の表面処理等、(6)微小電極埋込みチップ上でのインピーダンス分光による単一細胞の検出、(7)誘電泳動を利用した血球細胞のオンチップ分離・操作技術、(8)キャピラリー電気泳動チップ上の免疫細胞電気泳動、(9)反発性誘電泳動を利用したセルソーターチップの開発、(10)多結晶Siへの不純物導入によるマイクロ流体デバイスへの微細電極集積化技術、(11)自己整合電極形成プロセスによるナノソーティングチップ作製技術についての成果を挙げた。

【研究分担者】
堀池靖浩	東京大学	大学院・工学系研究科	教授	(Kakenデータベース)