高速高分解能ERDAによるサブサーフェス水素ダイナミクスの研究
【研究分野】ナノ材料工学
【研究キーワード】
イオンビーム分析 / 水素 / 反跳原子検出法 / 高分解能反跳原子検出法 / Pd(110)表面 / イオンビーム / 位置敏感半導体検出器 / イオン検出器 / 表面科学 / 量子ビーム
【研究成果の概要】
パラジウム表面での水素の吸収・放出ダイナミクスを研究するため、表面科学に適用できる高分解能ERDAの開発を行った。具体的には筑波大学の1 MVタンデトロンに高分解能ERDA装置を新規に開発したうえ、水素に対する高感度化を試みた。イオン‐2次電子コインシデンス測定装置を開発し、さらに2次電子を放出するストッパフォイルにAlコーティングを施すことにより、検出効率を79%に保ったまま検出器（MCP)の暗電流によるノイズを2%にまで低減することに成功した。また、Si検出器を用いた位置敏感検出器を開発し、暗電流と迷い粒子の両方の影響を除去し、水素の検出限界は3×10（20乗）/cm(3乗）に達した。
【研究代表者】