電子線プローブによるナノメーター精密構造解析
【研究分野】固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
【研究キーワード】
電子線プローブ / CBED / HREM / Nano materials / 表・界面 / 分析電子顕微鏡 / ナノメーター構造解析 / 先端材料 / イメージングプレート / ナノプローブ電子線 / 精密構造解析 / 原子クラスター / 表面・界面 / CCDカメラ
【研究成果の概要】
本総合研究"電子線プローブによるナノメーター精密構造解析"の研究班では、空間、時間平均化された情報の壁のうちの一方、すなわち空間平均化の壁を取り除くために、(1)ナノメーターサイズの電子線を用いた逆空間での精密な構造解析、および(2)平均操作の入らない実空間での高分解能電子顕微鏡観察を定量的に行うことによって、先端材料のナノメータースケールでの精密な構造解析法の開拓とそれを応用した成果を出すことを目的として研究を行った。
最終年度の平成8年度は、13名の代表者および研究分担者がコヒーレントナノビーム電子回折、電子線ホログラフィー、ナノ電子回折、準結晶の高分解能観察、新記録媒体(イメージプレート)特性評価、シリコンの表面構造研究、微粒子の表面構造研究、非晶質のナノビーム電子回折、アトムクラスターの物理、半導体の欠陥構造の光物性との関わり、カソードルミネッセンス、及び収束電子回折の新展開の各分担課題で精力的に研究を行った。
【研究代表者】