3次元集積構造によりビーム制御機能を有する共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器
【研究分野】電子デバイス・電子機器
【研究キーワード】
電子デバイス / 集積回路 / 超高速電子デバイス / テラヘルツ / 超高速デバイス / 量子エレクトロニクス
【研究成果の概要】
3次元的にマイクロサイズの八木アンテナを集積した発振素子構造を提案し、その構造の放射パターンのシミュレーション、および、プロセスの研究を行った。シミュレーションよりアレイエレメントを3つ配置したときに19dBiの指向性が得られることが分かった。素子の作製プロセスの開発では薄膜基板を作製する条件や、誘電体厚膜を積層する条件などを求め、作製プロセスの確立を行った。
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2010 - 2011
【配分額】4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)