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3次元計測
に関するサイレントキーワード
形状測定
が含まれる科研費採択研究1件
3次元計測
に関するサイレントキーワード
形状測定
が含まれる科研費採択研究 1件
ナノ
三次元計測
における不確かさ推定手法の体系化
【研究分野】生産工学・加工学
【研究領域課題番号】
22246016 (KAKENデータベースで見る)
【研究キーワード】
ナノメートル計測 /
三次元計測
/ 不確かさ推定 /
形状測定
【研究成果の概要】
ナノスケールものづくりにおけるナノ
三次元計測
の不確かさ体系化のために,以下に示す4つの研究を行い,ナノメートル
三次元計測
における不確かさ推定手法の体系化を行った.
(1)ナノ
三次元計測
の不確かさの理論では,測定機の運動誤差から伝播により不確かさを推定するソフトウェアを開発し,その有効性を確認した.(2)光学的ナノ三次元形状計測では,角度センサを利用した非球面計測手法を開発し,その不確かさ推定を行った.(3)ナノ標準の開発では,Si格子をスケールとして利用する半導体構造の三次元
形状測定
を実施した.(4)光コムによるパルス干渉計では,パルス干渉計を構築し,三次元座標測定機の精度評価を行った.
【研究代表者】
高増 潔 東京大学 工学(系)研究科(研究院) 教授
(Kakenデータベース)
【研究分担者】
高橋 哲
東京大学
大学院工学系研究科
教授
(Kakenデータベース)
松本 弘一
東京大学
大学院工学系研究科
教授
(Kakenデータベース)
【研究連携者】
古谷 涼秋
東京電機大学
工学部
教授
(Kakenデータベース)
三隅 伊知子
独立行政法人産業技術総合研究所
計測標準研究部門
主任研究員
(Kakenデータベース)
佐藤 理
独立行政法人産業技術総合研究所
計測標準研究部門
研究員
(Kakenデータベース)
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2010-04-01 - 2015-03-31
【配分額】28,730千円 (直接経費: 22,100千円、間接経費: 6,630千円)