「ミリ波」に関するサイレントキーワード「MEMS」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】MEMS可変共振子アレイによるテラヘルツ光空間変調デバイス 【研究代表者】年吉 洋 東京大学 先端科学技術研究センター 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050282603/ 【研究協力者】 韓 正利 国立研究開発法人理化学研究所 光量子工学研究領域 基礎科学特別研究員 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020752702/