「測定」に関するサイレントキーワード「超小型自走機械」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発
【研究代表者】青山 尚之  静岡大学   工学部   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040159306/	 
【研究分担者】
菅沼 亮介  本多電子(株)  産業機器事業所  課長
原 勉  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/10000株)浜松ホトニクス  中央研究所  主任研究員
村上 健司  静岡大学  電子工学研究所  講師  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030182091/	
下河辺 明  東京工業大学  精密工学研究所  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	
佐々木 彰  静岡大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080022309/