「顕微鏡」に関するサイレントキーワード「超精密加工」が含まれる科研費採択研究3件

【研究名】回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発
【研究代表者】三村 秀和  東京大学   大学院工学系研究科(工学部)   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030362651/	
【研究名】シングルnmオーダの超精密加工表面形状の多重解像度解析
【研究代表者】笹島 和幸  東京工業大学   大学院・情報理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080170702/	 
【研究分担者】
原 精一郎  東京工業大学  大学院・情報理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040293253/	

【研究名】サブナノメートル形状のマルチスケール測定・評価
【研究代表者】笹島 和幸  東京工業大学   大学院・情報理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080170702/	 
【研究分担者】
原 精一郎  東京工業大学  大学院・情報理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040293253/