「ナノ構造」に関するサイレントキーワード「不純物制御」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究
【研究代表者】大泊 巌  早稲田大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030063720/	 
【研究分担者】
豊島 義明  株式会社東芝セミコンダクター社  マイクロエレクトロニクス研究所  主査
品田 賢宏  早稲田大学  理工学部・日本学術振興会  特別研究員  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030329099/