「エピタキシャル成長」に関するサイレントキーワード「シーメンス法」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】ウエーハ等価薄膜太陽電池の直接製造を可能とするメゾプラズマ次世代シーメンス法開発
【研究代表者】吉田 豊信  東京大学   大学院・工学系研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000111477/	 
【研究分担者】
神原 淳  東京大学  大学院・工学系研究科  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080359661/	
【研究連携者】     
田中 康規  金沢大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090303263/	
澁田 靖  東京大学  大学院・工学系研究科  講師  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090401124/	

【研究名】原料リサイクルCVD法による太陽電池用結晶シリコン薄膜の低コスト合成
【研究代表者】岡田 文雄 (2005)  東京大学   大学院・工学系研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010345093/	 
【研究分担者】
野田 優  東京大学  大学院・工学系研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050312997/	
岡田 文雄  東京大学  大学院・工学系研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010345093/