「エピタキシャル成長」に関するサイレントキーワード「物理蒸着法」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】原料リサイクルCVD法による太陽電池用結晶シリコン薄膜の低コスト合成 【研究代表者】岡田 文雄 (2005) 東京大学 大学院・工学系研究科 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010345093/ 【研究分担者】 野田 優 東京大学 大学院・工学系研究科 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050312997/ 岡田 文雄 東京大学 大学院・工学系研究科 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010345093/