「薄膜」に関するサイレントキーワード「蒸着」が含まれる科研費採択研究5件 【研究名】マイクロカンティレバーを用いた超高感度熱流束測定法の開発と薄膜蒸着過程への応用 【研究代表者】井上 剛良 東京工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020193592/ 【研究分担者】 中別府 修 東京工業大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050227873/ 【研究名】凝縮初期過程における滴状凝縮核形成に関する研究 【研究代表者】井上 剛良 東京工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020193592/ 【研究名】中性金属原子の並進エネルギーを選別するための速度選別器の開発とその熱工学への適用 【研究代表者】井上 剛良 東京工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020193592/ 【研究分担者】 伊藤 弘基 三菱電機 伊丹製作所 主任研究員 鈴木 祐二 東京工業大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020242274/ 中別府 修 東京大学 大学院・工学系研究科 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050227873/ 【研究名】蒸着重合法による高分子単分子薄膜の作成に関する研究 【研究代表者】奥居 徳昌 東京工業大学 工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020111651/ 【研究名】MOS型IC材料の化学反応と拡散に関する研究 【研究代表者】後藤 和弘 東京工業大学 工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070016260/ 【研究分担者】 須佐 匡裕 東京工業大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090187691/ 永田 和宏 東京工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070114882/